「金属含有低分子化合物に基づくEUV用新規リソグラフィー材料
に関する研究」に関する以下に掲げる研究補助業務
(1)実験試料の調整、洗浄、管理等の補助
(2)実験の準備、照射、測定等(電子線利用を含む。)の補助
(3)実験装置や備品の整備、洗浄、管理等の補助
(4)その他上記に関連するデータ処理、書類作成等の補助
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