IC基盤シリコンウェーハ製造(1)単結晶シリコンインゴットをスライシング(2)ラップマシーンによる粗研磨(3)研磨機による鏡面仕上研磨(4)鏡面ウェーハの洗浄(5)完成ウェーハの検査機による検査
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