・半導体製造装置(電子ビーム描画装置)の機能確認及び性能検査
と出荷業務
・半導体製造装置(電子ビーム描画装置)のメカニカルユニット組
立及び総合組立と機械系動作調整
・半導体製造装置(電子ビーム描画装置)の電気系ユニットの電気
試験
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