半導体装置開発の為に、各部署が使うサンプルウェハの成膜・分析
・成膜に必要なウエハ準備(専用のケースに詰めるなど)
・運搬(5~10Kg程度。台車使用あり)
・処理条件を決めて、ウェハを機械に入れ成膜
・出てきたウェハを分析(膜厚、異物、物理分析、等)
・データ解析、性能評価、資料化
◆クリーンルームでの作業あり
◆SEM、TEMなどの顕微鏡
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