(共同)EUVリソグラフィー用新規金属含有低分子材料の研究に関する(1)~(4)の研究補助業務(1)実験試料の調整、洗浄、管理棟の補助(2)実験(準備、照射、測定等)の補助(3)実験装置や備品の整備、洗浄、管理等の補助(4)上記に必要なデータ処理、書類作成等の補助
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