<ハード立上げフロー>
装置メーカー、付帯業者など多くの関係者と協同します。搬入、設
置、組立、電源投入、動作確認等を行う各業者様のサポートを行い
ます。サポート内容は、業者間の作業日程調整や備品や治具等の準
備、翌日作業の擦り合わせ、トラブル報告及び対応に関する打合せ
等を作業の進捗確認をしながら立上げが順調に進むように工程管理
をして頂きます。
<プロセス立上げフロー>
正常動作が出来る状態となったら、各装置の特性が検収条件をクリ
アする様に、各パラメーターを調整しクリアしていきます。ここで
も装置メーカーのサポート役として、ウェハーを流動したり、測定
器にセットしたりのサポートを行って頂きます。
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