電子ビームマスク描画装置の技術開発・技術支援業務電子ビームマスク描画装置に関する描画技術開発および保守/客先に対する技術支援業務。主にマスク描画方式のソフトウエア開発/描画精度評価/ドキュメント作成/機能立ち上げ試験/客先への技術支援