電子ビームマスク描画装置のサービスサポート業務電子ビームマスク描画装置の技術サービスにおいて、トラブル発生時の対応支援や、現地解決のための情報/サポートツールの提供を行う。業務推進のための情報整理(データベース化)やツールの開発を行う。