1.次世代半導体基板(GaN基板、SiC基板など)の新規基板加工技術開発2.次世代半導体基板の加工品質評価・分析3.開発技術の特許出願4.基板加工プロセスの歩留まり・生産性改善5.基板加工装置の改善・改造
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