DryEtching装置のプロセスチャンバー及びそれに付帯するユニットのメカ部品の設計・製図。装置機能改善の為の調査、分析、考案、評価品の施策、設計、実験、評価、また、トラブル対応など現場作業。またBOM、ドキュメント作成等のサポートワーク
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