(1)新規設備の導入
(2)電子部品製造工程(前工程~後工程)における各生産設備の歩留・不具合改善や生産性向上
<対象工程・設備>
・ウェハ微細配線製造工程
(成膜、露光、現像、計測、等)・ダイシング、実装(ボンダー、マウンター)、封止、印刷、試験工程
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