ＭＥＭＳデバイス・プロセス開発★新しい技術領域で未来を拓く！ (@第一精工株式会社)

圧電薄膜（チタン酸ジルコン酸鉛〈PZT〉）を使った微小電気機械システム（MEMS）の製品開発。
●MEMSデバイスの製品開発仕様検討・製品設計・解析・開発・特性評価試験などです。
●圧電薄膜とMEMS技術の融合によりセンサなどの小型化また新機能の付加などMEMS技術を用いて3軸加速度センサによる「地震検知器」を製品化。
工場設備の異常振動検知や住宅やビルの安全制御など幅広く使用が見込まれます。
今後も様々な業界・分野にMEMS技術を用いた製品開発を行います。
●プロセス開発併せて、デバイス開発におけるフォトリソグラフィ、エッチングなどの生産プロセスの開発業務にも取り組みます。